国产光刻机光源，详细分析10家有代表性的企业：

1. 恒运昌 (688785)作为国内等离子体icon射频icon电源系统的领军企业，恒运昌的核心产品被誉为控制等离子体的“纳米手术刀”，直接决定芯片刻蚀与薄膜沉积工艺的精度与良率。虽然其当前主要营收来自于刻蚀和薄膜沉积设备（如PECVD），但射频电源技术同样是光刻机光源激发系统的核心。公司历经十余年自主研发，第三代Aspen系列产品已覆盖7-14纳米先进制程，打破了美国iconMKS与AE两大巨头的长期垄断。随着公司在沈阳icon和深圳icon的募投项目落地，产能瓶颈将得到极大缓解，未来有望向光刻机专用高端电源领域深度拓展。

2. 英杰电气icon (300820)英杰电气是国内工业电源领域的隐形冠军，其半导体电源业务已成功切入国内头部存储企业和晶圆厂供应链。公司在射频电源领域技术积累深厚，不仅实现了对刻蚀、薄膜沉积环节的批量供应，其高精度功率控制技术同样适用于光刻机复杂的供电需求。面对国产替代浪潮，英杰电气正在成都建设icon半导体基地以大幅提升射频电源产能，并持续加大研发投入向先进制程倾斜。凭借其在光伏、核电等领域积累的特种电源经验，公司在光刻机等高端装备的定制化电源开发上具备极强的跨界延展性。

3. 爱科赛博 (688719)爱科赛博专注于高性能电力电子变换与控制技术，其精密测试电源在国内处于领先地位。公司依托模块化的技术平台，正在积极拓展服务于半导体装备的离子体电源业务。光刻机对电源的瞬态响应icon速度、电压电流的纯净度有着极端苛刻的要求，这正是爱科赛博的技术强项所在。2026年一季度，公司经营迎来拐点，营收大幅增长且亏损收窄，验证了其高端电源产品的市场竞争力。随着募投项目的投产，其在半导体核心零部件领域的规模效应有望逐步显现。

4. 新雷能icon (300593)新雷能是国内特种电源领域的龙头，长期为航空航天、军工等高精尖领域提供高可靠性的电源解决方案。光刻机作为极度精密的设备，其内部控制系统、激光发生器及传感器icon都需要极高稳定度icon的模块化电源支持。新雷能在高效率、高密度、高可靠性电源方面的技术积淀，使其天然契合光刻机对供电系统的严苛标准。在半导体设备国产化率提升的背景下，新雷能凭借其军用转民用的技术优势，有望成为光刻机内部精密供电模块的重要供应商。

5. 中瓷电子icon (003031)中瓷电子在精密陶瓷零部件领域实现了从“0到1”的重大突破。其开发的氧化铝icon、氮化铝icon精密陶瓷零部件（如静电icon卡盘、陶瓷加热盘等）已批量应用于国产光刻机，核心技术指标达到国际水平。这些陶瓷部件不仅是光刻机工件台和聚焦系统的关键支撑，更承担着高压绝缘与散热的重任，与电源系统紧密配合保障设备在纳米级精度下的稳定运行。在核心零部件国产化率极低的背景下，中瓷电子将直接受益于巨大的国产替代市场空白。

6. 富创精密icon (688409)富创精密是国内领先的半导体设备精密零部件制造商，为光刻机提供腔体、框架、传输系统等高精度结构件。光刻机的电源系统和光学系统需要安装在极其稳固且抗震的精密金属结构件上，富创精密的产品相当于光刻机的“骨骼”。公司具备全球化的供货能力，也是国产光刻机重要的配套商。

7. 新莱应材icon (300260)新莱应材聚焦于高洁净管路、阀门和腔体，负责光刻机特种气体的输送系统。光刻机光源（尤其是EUV光源）的产生往往涉及特定的气体环境，对气体纯度、洁净度和密封性有着极端苛刻的要求。公司在高洁净应用材料icon领域深耕多年，完美契合了光刻机对超高纯环境的严苛标准，是国内极少数通过ASML认证并进入上海微电子供应链的超高纯应用材料龙头。

8. 国电南瑞icon (600406)作为电网自动化和工业控制的绝对龙头，国电南瑞在高端工业电源控制和电能质量治理方面拥有深厚的技术壁垒。光刻机是对电能质量最敏感的设备之一，微小的电压波动都可能导致昂贵的晶圆报废。

9. 许继电气icon (000400)许继电气在智能变配电和直流输电领域技术领先，其大功率电力电子技术同样可以降维打击应用到高端工业制造领域。针对光刻机瞬间大功率启动和复杂负载变化的特性，许继电气能够提供定制化的整流、逆变及储能配套电源系统。

10. 汇川技术icon (300124)汇川技术被誉为工控界的“小华为”，在伺服系统、变频器及PLC（可编程逻辑控制器）领域国内市占率第一。光刻机内部的晶圆传输机器人、工件台高速运动控制都需要极高精度的伺服驱动器和电机，而这些运动控制部件的精准供电与能量管理正是汇川icon的核心强项。

投资风险提示：光刻机及其核心零部件属于技术壁垒极高、研发周期极长的硬科技赛道。部分公司的相关业务尚处于早期验证或小批量供货阶段，业绩兑现存在不确定性，且极易受到国际地缘政治及产业政策变动的影响。股市有风险，投资需谨慎，建议你结合自身的风险承受能力icon进行综合判断。