存储扩产潮叠加国产加速，半导体设备成震荡市最强主线

半导体设备板块逆势走强，市场对国产替代空间存在分歧。保守派认为海外龙头垄断难破，行情属短期炒作；看多资金则紧盯AI算力带动的存储扩产潮，叠加海外设备交付延期、涨价断供，国内厂商正迎来替代窗口，长期成长逻辑明确，订单数据已初步验证。

相关个股梳理

刻蚀设备：$中微公司 sh688012$ 、北方华创、屹唐股份

薄膜沉积设备：$北方华创 sz002371$ 、拓荆科技、微导纳米、中微公司

清洗设备：$盛美上海 sh688082$ 、北方华创、芯源微、至纯科技

量检测设备：中科飞测、精测电子、中导光电、东方晶源

测试设备：长川科技、华峰测控、联讯仪器

涂胶显影设备：芯源微

CMP 化学机械抛光设备：华海清科

离子注入 / 掺杂设备：中科信、先导基电、华海清科、北方华创

中微公司，CCP 刻蚀领域国内第一，5nm 工艺验证通过，覆盖 90% 以上刻蚀需求，已开始在 LPCVD/ALD 领域确认收入，成为沉积赛道新兴力量

北方华创，ICP 刻蚀领域国内第一，与中微合计占据国内厂商约 95% 份额，PVD 设备国内排名第一，保持垄断地位，平台型布局覆盖清洗设备，2025 年 3 月正式进军离子注入市场发布多款 12 英寸机型

屹唐股份，高速干法刻蚀技术适配 3D NAND 堆叠，晶圆厂扩产订单年增 50%

拓荆科技，CVD 设备国内排名第一，PECVD 领域领先，已形成 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD 等完整矩阵，收购无锡尚积 100% 股份（PVD、CVD 工艺薄膜沉积设备与刻蚀设备，在功率半导体、MEMS、射频芯片等细分领域）

微导纳米，ALD 设备国内排名第一，以原子层沉积技术为核心

盛美上海，国内清洗设备绝对龙头，全球市占率 8.0%（全球第四），清洗技术覆盖 95% 应用，清洗设备营收占比超 70%

芯源微，前道清洗设备细分龙头，化学清洗机增长亮眼，国内唯一可批量量产前道涂胶显影设备的公司，产品覆盖 I-line、KrF 及 ArF 浸没式等多型号，后道先进封装设备已供应应用于台积、长电科技、华天科技等海内外一线大厂

至纯科技，清洗设备领域重要参与者

中科飞测，国内半导体量检测设备龙头，交付量突破千台，覆盖全球 66.6% 质控设备市场空间，客户覆盖中芯国际、长江存储等主流产线

精测电子，膜厚 / OCD 量测、电子束量测设备领先

中导光电，高端半导体量检测设备提供商，科创板 IPO 已获受理

东方晶源，电子束量检测设备 + 计算光刻软件双核心

长川科技，国内半导体测试设备平台型龙头，产品覆盖测试机、分选机、探针台及 AOI 检测

华峰测控，后道封装测试设备龙头

联讯仪器，高端测试仪器龙头，1.6T 光模块测试率先国产化

华海清科，打破海外巨头长期垄断，国内 CMP 设备绝对龙头，占据国产 CMP 装备销售 90% 以上份额，12 英寸及 8 英寸 CMP 装备累计出货超 1,000 台，产品已全面适配长江存储从 128 层至 300 层各代制程产线

中科信，国产离子注入机市占率第一，完整覆盖 28nm 工艺制程，形成中束流、大束流、高能机全系列产品矩阵

先导基电，国产离子注入机赛道 “先行者”

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