这是俄国所谓的“考古式”光刻机核心组件科研——65纳米及以下的准分子激光器

莫斯科的拉萨德公司：
1，两台193纳米准分子激光器作为“进步130”项目的一部分投入生产, 且2026年8月，俄罗斯宣布其130纳米设计标准光刻机的第三阶段研发工作已完成；
2，首款波长65纳米及以下的准分子激光器完成了工程开发
65纳米及以下的准分子激光器是光刻系统的关键组件，用于制造设计标准从 65 纳米开始的微电子器件。俄罗斯早在苏联时期（1970 年）就发明了这种激光器，但当时仍缺乏国产化生产。这种情况正在改变：激光器样品已于 2026 年制造完成
2026年8月，拉萨德集团莫斯科工厂生产出了首批准分子激光器原型机。这种设备对于生产设计尺寸为65纳米及以下的现代微电子产品至关重要。准分子激光器是一种紫外气体激光器，不仅应用于半导体行业，还应用于眼科，用于激光视力矫正。在此之前，俄罗斯从未生产过用于光刻系统的激光器，整个国家完全依赖进口这种关键部件。
与此同时，俄罗斯准分子激光器的发展史始于一项辉煌的科学突破：世界上第一台准分子激光器于1970年在苏联发明，并于1971年由尼古拉·巴索夫及其在莫斯科俄罗斯科学院列别捷夫物理研究所的同事们发表。然而，尽管俄罗斯是这项技术的摇篮，但用于光刻的准分子激光器的大规模生产最终却集中在国外。如今，全球仅有两家公司从事此类激光器的大规模生产：日本的GigaPhoton公司和美国Cymer公司（后者是荷兰巨头ASML的子公司）。根据IndexBox于2026年7月发布的一份分析报告，Cymer和GigaPhoton两家公司合计控制着全球用于先进制造的高功率ArF浸没式激光系统市场高达90%的份额。这种寡头垄断格局为新制造商进入市场设置了几乎无法逾越的壁垒
自2021年以来，拉萨德集团一直在研发用于光刻的准分子激光器。到2023年，集团旗下的Optosystems公司已经生产出了两台此类激光器的原型机。然而，由于缺乏国产光刻机——这些激光器实际运行所需的系统——从原型机到全尺寸原型机的过渡却无法实现。这一技术僵局一直持续到俄罗斯开始积极研发自己的光刻系统。如今，这项工作正在两家研究机构进行：泽列诺格勒纳米技术中心，其研究重点是130纳米、90纳米和65纳米的拓扑规范；以及位于下诺夫哥罗德的俄罗斯科学院微结构物理研究所，该研究所的目标更为远大。
到2026年夏季，情况发生了巨大变化。拉萨德公司研发的两台193纳米准分子激光器作为“进步130”项目的一部分投入生产。俄罗斯工业和贸易部副部长瓦西里·什帕克于2024年9月访问了该公司位于特罗伊茨克的生产基地，他指出，拉萨德集团是俄罗斯唯一一家独立研发此类技术的公司。他还证实，两台原型机已经生产完成，并计划于2025年进行测试。另据消息人士透露，国产准分子激光器预计将于2026年后开始批量生产，计划年产量至少为五台
2026年8月，俄罗斯宣布其130纳米设计标准光刻机的第三阶段研发工作已完成。该系统采用直径200毫米的晶圆，符合俄罗斯市场需求。由拉萨德公司（Lassard）制造的准分子激光器已成功通过测试，其性能与国际同类产品相当。光掩模和测量控制装置也已研发制造完成。该项目略有延期，预计从2027年起即可与泽列诺格勒纳米技术中心（Zelenograd Nanotechnology Center）洽谈光刻机的供应合同。单套系统的成本预计为5.422亿卢布，而未来五到七年俄罗斯市场对该系统的需求量预计为15至25套
因此，俄罗斯现在很有可能成为世界上第三个实现光刻用准分子激光器大规模生产的国家。然而，这一机遇也伴随着诸多挑战。其中一个关键限制仍然是对进口光学材料的依赖。尽管如此，国产准分子激光器原型机的研制成功本身就意味着俄罗斯在微电子制造领域迈出了技术自主化的关键一步，尽管目前采用的是基础而非尖端的拓扑标准。
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