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“智能药水”攻克芯片深井难题:高深宽比湿

芯片制造中,湿法刻蚀用于处理深孔,克服干法刻蚀效率低、易损伤孔壁的缺点。雅克科技研发的“智能药水”已在SK海力士和三星测试成功,未来有望成为湿法刻蚀领域的关键供应商。