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德国蔡司生产的EUV镜片直径只有50厘米,眉毛、皮屑掉入EUV镜片,处理非常困难

德国蔡司生产的EUV镜片直径只有50厘米,眉毛、皮屑掉入EUV镜片,处理非常困难,可能导致数千万欧元的镜片报废,但是这个大小才是目前最省电的,只能尽可能精细打磨镜面峰值与谷值不超过0.12纳米、每层镀膜误差不得超过0.15纳米。
美国2.4米口径的罗曼太空望远镜并不是最先进的,美国生产的3米到3.5米口径侦察卫星,在同样高度的太空,比欧盟最先进的侦察卫星分辨率高一倍,蔡司只能生产口径1.32米卫星镜片,欧盟主流还是1.1米侦察卫星镜片。