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#新金属蒸镀方法提升二维晶体管性能#湖南大学柳畅团队联合中科院上海技物所,用“蒸0.5纳米停5分钟”的Step-Eva工艺,让金属原子长成单晶。二维晶体管接触电阻降至传统工艺约三分之一,50nm沟道电流超1.1mA/μm,开关比破10¹⁰,整体性能高出两个数量级。Science评价其“或代表范式转变”。目前仍是实 ​

新金属蒸镀方法提升二维晶体管性能湖南大学柳畅团队联合中科院上海技物所,用“蒸0.5纳米停5分钟”的Step-Eva工艺,让金属原子长成单晶。二维晶体管接触电阻降至传统工艺约三分之一,50nm沟道电流超1.1mA/μm,开关比破10¹⁰,整体性能高出两个数量级。Science评价其“或代表范式转变”。目前仍是实验室突破,离量产还有距离。