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光刻机国产化进程将快速推进

国产DUV光刻机技术已攻克,核心瓶颈是整机集成良率,需3-5年迭代提升。中欧关系紧张或加速国产化进程,晶圆厂采购国产光刻机可获地方政府补贴及低息贷款,后续或与晶圆厂扩建挂钩。