【俄境内半导体生产所需的全产业链配套逐步拉通——再次，属于2进宫】

注：疫情之前，去圣彼得堡，发现马林斯基剧院1年演出歌剧和舞剧达到800多场，剧目制作轮演60多部，远远超过维也纳和柏林的任何剧院，甚至超过他们3大歌剧院的综合，当时就觉得，啥子高铁，飞机，飞机，光刻机等等这些物质层面的劳什子，基本不会是太大问题的。只是俄国落后的生产关系， 拖了生产力发展的后腿，难以持续，而不是智力资源缺乏

俄首台国产固体激光光刻机批量交付：第一批批量生产的350nm制程光刻机年底前在莫斯科的工厂安装；而130nm制程光刻机在2027年交付

该光刻机的基本版售价为3.92亿卢布（不含增值税），而包含五年质保和延保服务的版本售价为5.61亿卢布，比同类俄国进口的设备价格低40%至60%，生产周期为18个月

俄罗斯首台全新研发的新型光刻机开始批量交付并安装：首台量产型Progress STP-350光刻机计划于2026年12月交付给位于莫斯科的Mapper公司。该系列第二台机器将交付给Otraslevye Resheniya（工业解决方案）公司。这款新型350纳米光刻机可处理最大200毫米的晶圆，并采用固态激光器取代了传统的汞灯

下一代俄罗斯产130纳米光刻机将于2027年问世。

由泽列诺格勒纳米技术中心与白俄罗斯公司Planar联合研发的首台量产型俄罗斯光刻机将于2026年底交付客户。这台Progress STP-350型光刻机的接收方是位于莫斯科的Mapper公司，该公司隶属于俄罗斯国家技术集团（Rostec）旗下的Shvabe控股公司。第二台量产型光刻机将交付给Element集团旗下的Otraslevye Resheniya（工业解决方案）公司

据俄罗斯媒体2026年9月11日报道，该光刻机的基本版售价为3.92亿卢布（不含增值税），而包含五年质保和延保服务的版本售价为5.61亿卢布，比同类俄国进口的设备价格低40%至60%，生产周期为18个月

从技术角度来看，该系统是一台采用光掩模转移模式的投影式步进机，在350 nm拓扑结构的半导体晶圆上进行光刻。工作区域为22 x 22 mm，可加工直径达200 mm的晶圆。固态激光器取代了传统的汞灯，从而提供了更高的功率和能源效率。该系统每小时可加工63片直径为150 mm的晶圆或43片直径为200 mm的晶圆。该系统已列入俄国家工业设备登记册，编号为RAVC.442174.002TU，因此在俄国有企业采购中享有优先权。

虽然350纳米技术并非全球微电子领域的尖端技术，但它在电力和汽车电子元件、工业控制系统、微机电系统（MEMS）器件以及用于热成像仪和无人机的红外阵列等领域仍然有着广泛的应用需求。这一细分市场正是客户关注的焦点：这家俄罗斯光刻公司的首位客户拥有1500平方米的洁净室，年加工晶圆量高达5000片，并且正在参与俄罗斯工业和贸易部的一个红外探测器批量生产项目。

目前，只有少数国家能够提供此类光刻机的全闭环生产流程。日本佳能公司生产的FPA-3030i5+和FPA-5550iZ2型号光刻机，在365纳米i线波长下分辨率至少可达350纳米，主要用于MEMS和LED等器件的生产。尼康公司提供的NSR-2205iL1步进光刻机参数与之类似，至今仍是业内应用最广泛的光刻机之一。荷兰ASML公司提供的TWINSCAN XT:400G系统用于批量生产300毫米直径、分辨率为350纳米的晶圆。俄罗斯Progress公司的STP-350光刻机的加入，意味着俄国已拥有自主研发的芯片生产设备，这些芯片是工业和汽车电子器件的基础。下一步计划是过渡到更紧凑的 130 纳米工艺标准，并于 2027 年推出现成的光刻技术设备。

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