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光刻胶上游主要是树脂、单体、光引发剂、溶剂。树脂是主要成分,决定成膜性、耐刻蚀性

光刻胶上游主要是树脂、单体、光引发剂、溶剂。树脂是主要成分,决定成膜性、耐刻蚀性和分辨率。

日本信越化学、JSR等国际龙头大多自己生产树脂,不对外卖。高纯单体对金属杂质和纯度控制要求极高,也是国产光刻胶上游需要突破的重要环节。

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