华海清科离子注入机国产化率达95.6%，2027年还差哪一步?

10月14日，华海清科在2026湾芯展推出中束流离子注入机IHQ-900E。公司公布，该设备的整机国产化率为95.6%，计划在2027年达到100%。现场介绍称，设备在注入剂量均匀性、角度控制、束流电流和每小时晶圆处理量等部分指标上，已经超过国外对比产品。
离子注入机主要负责将指定离子打入硅片，调整材料的导电性能。逻辑芯片、存储芯片和功率芯片的制造过程都需要使用这类设备。工作时必须控制好离子的注入位置、角度和数量，同时保证设备长时间运行的稳定性。
95.6%指的是设备本身的国产化水平，不能理解为国产离子注入机已经占有95.6%的国内市场。 华海清科目前没有公开剩余4.4%对应的零部件名单。按照公司公布的计划，2027年还需完成相关零部件的国产替代工作。
更需要关注的是设备进入晶圆厂后的实际表现。此前，华海清科已经向国内多家芯片制造企业成批交付12英寸大束流离子注入机，也拿到了客户的重复订单。此次推出的IHQ-900E属于中束流新型号，客户验证进度和实际订单情况还需要进一步观察。
国产化率从95.6%提高到100%，还要解决剩余零部件的替代问题。设备能否进入更多芯片生产线，需要看工艺测试结果、长期运行的稳定性以及客户验收情况。2027年的国产化目标能否按计划完成，以及新型号能否实现批量交付，将是判断后续进展的两个重要指标。