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拿下外延 offer!高频面试题整理

外延面试 80% 会问异常排查🔥,主管面重点打分项!
拿到不良先拆解:厚度不均、波长漂移、表面黑点、漏电大、外延片翘曲。
优先排查方向:温度场、气流分布、前驱体管路、衬底预处理、腔室颗粒污染。
记住逻辑:先确认设备状态→核对 recipe→区分批次性 / 随机不良→设计 DOE 验证根因。 别一上来就改参数!量产岗非常看重稳定性、追溯、风险评估。
STAR 法则套上自己的项目:遇到什么不良、怎么定位、优化方案、良率提升结果。 很多同学理论满分,一问排障就卡壳,这块一定要多练口述💡
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