国产光刻机产业链完整梳理🔥全环节核心企业汇总

光刻机作为半导体设备皇冠上的明珠，国产化一直是大家重点关注方向。从整机主体、拆分平台，到光学部件、配套系统设备，整理一份完整产业链清单，建议收藏。

一、光刻机整机相关

🔹上海微电子张江高科：间接持股上海微电子10.779%东方明珠：间接持股上海微电子1.73%上海电气：第一大股东，持股41.09%电气风电：上海电气控股，持股26.94%海立股份：上海电气控股，持股26.41%上海机电：上海电气控股，持股19.73%赢合科技：上海电气控股，持股11.67%华建集团：上海国有资本投资公司持股30.98%

🔹芯上微装（上微拆分，后道封装光刻设备）张江高科持股14.19%，中国东信、东方明珠、中信证券、上汽集团等均参与布局，广发证券、金发科技、朗迪集团、卧龙电驱、皖通高速也有相关关联。

🔹宇量昇（上微拆分，前道光刻机业务）波长光电：供应非物镜镜片永新光学：供应EUV+DUVi镜片、镜头模组美利信：精密机械臂基座、真空腔体零部件

🔹长春光机所奥普光电：长春光机所唯一上市平台

二、核心零部件

光源上游｜福晶科技光学系统｜茂莱光学、永新光学、波长光电、福光股份光学器件｜赛微电子、炬光科技、苏大维格、腾景科技、晶方科技、京华激光、锐科激光静电吸盘｜江丰电子真空腔体｜宝光股份控制器｜电科思佐其他｜富创精密、新莱应材、珂玛科技、华亚智能、百傲化学

三、系统配套设备

镀膜设备：汇成真空洁净清洗设备：蓝英装备、金力泰、创元科技、安达智能、阿为特、美埃科技温控设备：同飞股份冷却系统：海立股份

四、激光直写光刻机

苏大维格、芯碁微装

光刻机国产化道路漫长，整机、镜片、腔体、光源每一个零部件，都需要国内企业持续攻坚突破。

这么多细分环节，你更看好哪条方向？欢迎评论区补充交流。

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