咱们国家拿下全球首次EUV光源绝对波前测量的首创突破！又一项卡脖子测量难题被攻克。

很多朋友可能不太明白，波前到底是什么。咱们可以简单打个比方：光就像水波，理想状态下波纹整齐划一，而波前就是水波最前面那一圈波纹。如果波纹歪歪扭扭，成像、光刻就会糊掉。普通波段的光波前早就有成熟办法测量，但是到了极紫外也就是EUV这个超短波区域，光子能量很高、穿透力特殊，很长一段时间，这个波段想要拿到不带设备误差的绝对波前数据，是光学领域公认的世界级难题。

这次由中科院上海光机所联合哈尔滨工业大学组成的科研团队，在2026年9月15日正式发布成果，论文刊发在《Optics and Lasers in Engineering》期刊上。团队独创了一套叫做AiPD、也就是艾里斑互换相位差波前测量的全新方案，使用镂空光子筛器件，成功完成了46.9nm波段光源的绝对波前测量。这里补充一个严谨知识点：46.9nm处在极紫外波段和软X射线的交界位置，广义归类属于EUV范畴，本次工作是该波段下首次实现光源绝对波前测量。

咱们再讲讲这项成果的全球领先优势。过往海外不少团队开展过同方向研究，大多完成的是相对波前测量，测量结果会叠加测量设备自身带来的系统误差，很难精准剥离仪器干扰，直接拿到光源本身原生的波前面貌。而国内这套AiPD方案，可以有效分离测量装置自带的固有误差，直接获取光源本身真实的波前形变，是这条技术路线上非常重要的原创突破。这里补充说明：目前公开报道中暂未检索到其他团队在该波段完成同类绝对波前测量成果，该判断基于当前已公开文献，并非官方直接定论。

这项技术未来会在三大硬核领域发挥不可替代的核心作用。第一就是短波光刻方向，光刻工艺想要刻出更精细的线路，必须精准掌握EUV光源的波前畸变，这项测量技术可以给光源调校提供精准数据支撑，为下一代短波光刻研发打下关键的检测底座。第二个方向是活体细胞成像，极紫外波段可以实现更高分辨率的生物显微成像，精准的波前数据能够进一步提升成像清晰度。第三个方向是等离子体诊断，在核聚变相关的等离子体实验当中，利用EUV探测等离子体状态，波前数据是解析实验结果必不可少的关键参数。

总结一句话：不是造出了EUV光刻机，而是搞定了EUV光源领域卡脖子的检测手段。就好比想要打磨一面超高精度的镜子，以前没有合适的尺子去量镜面到底平不平，现在我们造出了这把特殊的尺子。基础科研的每一次首创突破，都会一点点拓宽国内高端光学装备的技术边界。