ASML NXE:3400C极紫外光刻机,采用13.5nm EUV光源,支持7nm、5nm芯片量产。双工件台设计,每小时可处理170片晶圆,拥有极高套刻与分辨率精度,是高端先进芯片制造的核心设备
乐高[超话]